1、真空泵叶片出现磨损，与缸体间摩擦时接触面不够大，导致真空度不足。
　　2、真空泵缸体出现磨损，缸体内壁可能出现磨损，导致真空度不足。
　　3、真空泵转子移位。转子与端盖的标准安装位置发生偏移，导致真空度不足，可找厂家校正。
　　4、真空泵进气管路及连接处漏气，真空泵经过长时间使用后，密封垫片老化致使真空泵漏气，导致真空度不足。
　　5、电机是否正常。电机的转速不正常抽速将会减慢，从而导致真空度不足。
　　6、真空泵油乳化、碳化、油量不足或油质不对。真空泵在长期使用过程中不经常更换以及人工保养的话，真空泵油将会发生乳化或碳化现象，从而导致真空泵缸体出现磨损，油管堵塞、油过滤器堵塞等一系列问题。
　　7、真空泵油过滤器堵塞或损坏。真空泵油过滤器也称油雾分离器、油过滤芯、排气滤芯等叫法，若油雾分离器发生堵塞，被抽进泵体的气体将不容易排出，此时泵体内内压过高，抽速降低，真空度下降。
　　8、所抽气体温度过高，在进气管路上假装冷却装置，降低进气温度
　　9、真空泵油温度太低，在寒冷季节，室内温度过低影响真空泵油温度，等泵运转半小时后，才能正常工作
　　10、真空泵进气管路连接处橡胶垫圈损坏，更换新的橡胶密封垫圈。因使用时间长，零件磨损，零件之间的间隙变大，从而影响正常工作和真空度，须进行修理更换。
　　11、所抽气体含有可凝性蒸汽，加用气镇装置或加装蒸汽捕集装置
　　12、选用真空计不对，应按照标准选用压缩式真空计以测得的分压强为准，或以电真空计测得全压强作参考。