1.轴承损坏
　　轴承损坏造成温度过高主要是由轴承翻滚体和保持架的损坏所引起的，这个时候需要更换新的轴承，以免对整体的性能造成不良影响。另外，轴承的密封失效也是造成升温的因素，密封性能的降低甚至失效会造成泄漏，也影响排气性能，真空泵油雾分离器的过滤性能不受影响。如果只有一边的密封失效，就会造成压力失衡，转子失去轴向力，加大轴承的负担。
　　2.阀片出现裂缝
　　如果阀片出现裂痕的情况比较严重，就会导致叶轮两边的压力失衡，轴承负载，温度升高。此时应该及时更换阀片。
　　3.错误使用真空泵油
　　无论是油量过高或者过低、油被污染还是油量不符合使用要求，都有可能造成轴承过热。由此可见泵油对于油封式真空泵的重要性。解决方法便是按照要求使用合理的泵油，正确用量，维护工况不受污染。