1、真空泵过载、电机烧掉。电机内轴承损坏、泵头卡死、电机线圈烧掉、泵头的连轴器与电机联轴器配合过紧。
　　2、真空泵冒烟、喷油。排气过滤器失效。
　　3、真空泵度不足。叶片磨损或叶片甩不出来、密封件老化漏气、真空泵油过少、管路漏气或进气口堵塞。
　　4、真空泵有异响。叶片损坏、轴承损坏、端盖与转子磨、马达轴承损坏
　　5、真空泵温度高。油已积炭堵塞油路、轴承损坏、转子与端盖磨损、散热风扇断裂、散热油管堵塞
　　6、真空泵漏油。密封件老化，排气过滤器老化失效
　　7、管道泄漏。有时候管道会因为不同的原因出现泄露现象，这时我们需要找专业的人来进行排除检查，看是否是因为这个的原因，如果是，那就赶紧进行修补焊接，以免造成更多的泄漏。
　　8、也可能是真空泵内漏，这就说明泵本身除了问题，我们应该找找看具体是哪个地方漏了，然后进行焊接补漏。
　　9、真空泵供水温度高。长时间使用泵，连续的运作，设备本身很容易出现这样的现象。这时候我们需要紧急停下，让设备休息几分钟，对其进行冷却。
　　10、另外真空泵的真空压力都是一样的。不一样的只是流量的大小。如果真的力不够，最简单的方法就是把吸盘改大。
　　11、如果吸附时漏气较大，应通过增加真空泵加大流量；如果力度不够应加大吸附面积；如果吸附面积大时，薄板出现变形，应该为多个吸附口。